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晶圓檢查系統顯微鏡
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統
12寸奧林巴斯晶圓檢查系統

產(chǎn)品型號:AL120-LMB12-LP/AL120-LMB12-F
發(fā)布時(shí)間:2020-12-2 11:10:25
訪(fǎng)問(wèn)次數:3445 次

晶圓檢查系統顯微鏡-12寸奧林巴斯晶圓檢查系統介紹

AL120-12奧林巴斯晶圓檢查系統對應可使用FOUP(裝載口)和FOSB,常用于低成本的后期檢查。12寸奧林巴斯晶圓檢查系統安全且符合人體工程學(xué)的設計,確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。

12寸奧林巴斯晶圓檢查系統主要特性:

●堅固、可靠和安全傳送

12寸奧林巴斯晶圓檢查系統延續了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓,且薄片,Warped晶圓也能安全搬送。

●人機工程學(xué)設計,操作方便

12寸奧林巴斯晶圓檢查系統可以自由設置的檢查模式,在設計上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設備的操作簡(jiǎn)便性。分別對應FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機型。

12寸奧林巴斯晶圓檢查系統宏觀(guān)觀(guān)察位置的最優(yōu)化和操作單元的集中排列,提高了設備的操作性。

自動(dòng)300 mm晶圓檢查系統 AL120-12 技術(shù)規格

型號

AL120-LMB12-LP

AL120-LMB12-F

晶圓尺寸

300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可選:200 mm

卡盒數

單盒(裝載、卸載兼用)

卡盒設置高度

900 mm

裝載端口

無(wú)

搬運順序

表面宏、內面宏、顯微鏡檢查

檢查模式

全部檢查、抽樣檢查

晶圓校準

非接觸式中心環(huán)

晶圓搬運方式

真空吸附機械搬運

適用顯微鏡

半導體檢查顯微鏡MX61L

應用環(huán)境

AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz ,真空-67~-80 Kpa

載物臺

XY手動(dòng)吸附載物臺,有XY粗調/微調和360度旋轉機構

重量(不包括顯微鏡)

約360 kg

約270 kg

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