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      半導體金相顯微鏡
      晶圓半導體檢查顯微鏡
      晶圓半導體檢查顯微鏡

      產品型號:MX系列
      發布時間:2018-6-8 16:17:56
      訪問次數:1539 次

      半導體金相顯微鏡-晶圓半導體檢查顯微鏡介紹

      晶圓半導體檢查顯微鏡MX系列各項操作根據人機工程學設計,減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設計,可對系統功能進行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據實際應用,進行功能選擇。

      寬視場鉸鏈式三目觀察筒

      正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實際方向相同,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于觀察與操作.

      大行程移動平臺設計

      采用6寸平平臺設計,行程158×158mm,可適用于對應尺寸的晶圓或FPD檢測,也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。

      高精度物鏡轉換器

      轉換器采用精密軸承設計,轉動手感輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制。

      穩重的機架結構設計

      工業檢測級顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩定性金屬機架,保證了系統的抗震能力與成像穩定性。

      其前置低手位粗微調同軸調焦機構,內置100-240V寬電壓變壓器,可適應不同地區的電網電壓。底座內部設計有風循環散熱系統,長時間使用也不會使機架過熱。

      半導體檢查顯微鏡MX6R標準配置參數

      型號  

      MX6R(反射)

      MX6RT(透反射)

      可選擇的觀察方法  

      明場/明暗場/偏振光/DIC

      光學系統  

      無限遠色差校正光學系統  

      目鏡  

      PL10X/22平場高眼點目鏡  

      觀察筒  

      正像觀察筒,25°鉸鏈式三目,分光比,雙目:三目=100:0或0:100

      物鏡  

      LMPlan無限遠長工作距明場金相物鏡5X、10X、20X、50X(選配:2X、100X)

      LMPlan-BD無限遠長工作距明暗場金相物鏡5X、10X、20X、50X(選配:2X、100X)

      轉換器  

      5孔內傾式轉換器,帶DIC插槽  

      載物臺  

      6”三層機械移動平臺,行程158x 158mm,右手位X、Y移動手輪,配離合器手柄,可快速移動

      /

      透射行程:100x100mm

      玻璃工作平臺

      顯微鏡鏡體  

      粗微調同軸、粗調行程33mm,微調精度0.001mm,,帶粗調機構上限位及松緊調節裝置。內置90-240V寬電壓變壓器,

      單路電源輸出

      雙路電源輸出

      反射照明器系統  

      帶可變視場光闌與孔徑光闌,均可調中心;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;帶明暗場切換機構,預置中心

      采用數字調光,具有光強設定與復位功能

      光強連續可調

      透射照明系統  

      /

      單顆大功率5W LED,白色,光強連續可調。N..A.0.5聚光鏡,帶可變孔徑光闌  


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