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工具測量顯微鏡
精密測量顯微鏡
精密測量顯微鏡

產(chǎn)品型號:MS系列
發(fā)布時(shí)間:2018-6-7 16:58:11
訪(fǎng)問(wèn)次數:1457 次

工具測量顯微鏡-精密測量顯微鏡介紹

精密測量顯微鏡MS系列,為實(shí)現強大的測量功能而研制,擁有值得信賴(lài)的品質(zhì)和技術(shù)

精密測量顯微鏡MS系列結合了金相顯微鏡的高倍觀(guān)察能力和影像測量?jì)x的X、Y、Z 軸表面尺寸測量功能,具備明暗場(chǎng)、微分干涉、偏光等多種觀(guān)察功能??蓮V泛應用于半導體、PCB、LCD、手機產(chǎn)業(yè)鏈、光通訊、基礎電子、模具五金、醫療器械、汽車(chē)行業(yè)、計量行業(yè)等領(lǐng)域的檢測。

●仰角可調觀(guān)察筒

觀(guān)察筒角度可在3-35度范圍內任意調整。無(wú)論是站立或坐著(zhù),都能較大限度滿(mǎn)足用戶(hù)的操作需求,同時(shí)也無(wú)需擔憂(yōu)用戶(hù)的身高差異。

●大行程載物臺

有多種行程的載物臺可供選擇:

MS210A平臺行程200 (X) mm x 100 (Y) mm,

MS320A平臺行程300 (X) mm x 200 (Y) mm,

MS330A平臺行程300 (X) mm x 300 (Y) mm,

MS430A平臺行程400 (X) mm x 300 (Y) mm,

不管是大樣品還是小樣品,都能滿(mǎn)足用戶(hù)的測量需求。若用戶(hù)有別的需求,也可按需求定制平臺。

●精密測量工具

MS系列測量顯微鏡采用0.1μm讀數的3軸測量系統,Z軸zui大行程可至170mm,利用集成在機架上的高精度電動(dòng)控制Z軸。三檔不同調速可供選擇,調焦可操作性強,提供效率,降低疲勞。

●獨立裂像光源輔助對焦

可根據樣品不同背景進(jìn)行光源亮度調節,清晰準確顯示zui佳焦面。有兩種裂像圖案可供選擇,并隨意切換。

●功能高度集成的一體式設計

一體式工作桌,既預留了臺式主機的位置,又帶有可收起的鍵盤(pán)抽屜,整體外觀(guān)整潔、舒服。各類(lèi)可操作部位觸手可及,操作輕松方便。符合人體工程學(xué),使用者無(wú)需站立,便可輕松實(shí)行操作。

●自主研發(fā)測量軟件

MS系列測量顯微鏡配備了操作簡(jiǎn)單,功能強大的測量軟件,客戶(hù)可根據需要設置測試偏好。軟件附帶了各類(lèi)手動(dòng)取點(diǎn)與自動(dòng)取點(diǎn)的測量功能,適用范圍更廣,即使對復雜的形狀,也可以進(jìn)行高精度的測量。

●精密測量顯微鏡MS系列應用領(lǐng)域


精密測量顯微鏡MS系列配置參數

型號

MS210A

MS320A

MS330A

MS430A

光學(xué)系統

無(wú)限遠光學(xué)系統

觀(guān)察頭

5°~35°傾角可調,正像,無(wú)限遠鉸鏈三目觀(guān)察筒,瞳距調節范圍:50mm~76mm;兩檔式分光比:100:0,0:100

目鏡

高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/22mm,可視度可調,可帶測微尺

轉換器

六孔電動(dòng)轉換器(帶DIC插槽),明暗場(chǎng)六孔電動(dòng)轉換器(帶DIC插槽)

物鏡

無(wú)限遠長(cháng)工作距平場(chǎng)消色差金相物鏡5X、10X、 20X、 50X、 100x

無(wú)限遠長(cháng)工作距平場(chǎng)明暗場(chǎng)消色差金相物鏡5X、10X、 20X

無(wú)限遠長(cháng)工作距明暗場(chǎng)半復消金相物鏡50X、100X

放大倍率

光學(xué)放大倍率: 50X-1000X;系統放大倍率:135X~2700X

測量顯微鏡主體

手動(dòng)測量平臺,行程200(X) mm x 100 (Y)mm, X/Y測量精度;(2+L/100) um,平臺包含快速移動(dòng)裝置及微調裝置,最大承載重量:10KG,帶z軸電動(dòng)調焦,電動(dòng)控制器, Z軸行程150mm, 最大行程170mm,Z軸重復定位精度±2um;

手動(dòng)測量平臺,行程300(X) mm x200 (Y)mm,XY測量精度;(3+L/100) um,平臺包含快速移動(dòng)裝置及微調裝置,最大承載重量:15KG,帶z軸電動(dòng)調焦,電動(dòng)控制器, Z軸行程150mm,最大行程160mm, Z軸重復定位精度±2um;

手動(dòng)測量平臺,行程300(X) mm x300 (Y)mm,XY測量精度;(3+L/100) um,平臺包含快速移動(dòng)裝置及微調裝置,最大承載重量:20KG,帶z軸電動(dòng)調焦,電動(dòng)控制器, Z軸行程150mm, Z軸重復定位精度±2um;

手動(dòng)測量平臺,行程400(X) mm x300 (Y)mm,XY測量精度;(3+L/100) um,平臺包含快速移動(dòng)裝置及微調裝置,最大承載重量:20KG,帶z軸電動(dòng)調焦,電動(dòng)控制器, Z軸行程150mm, Z軸重復定位精度±2um;

照明系統

明暗場(chǎng)反射照明器,帶明、暗場(chǎng)照明器切換裝置,普濾色片插槽與偏光裝置插槽,帶5W LED燈源,亮度均可調

輔助對焦模塊,帶明、暗光楔模切換裝置,帶綠光5W LED燈源(含100V-240V寬電壓, 5W LED控制器,

調焦方式

電動(dòng)控制器,帶自動(dòng)/手動(dòng)乙軸調焦,獨立控制上/下/輔助對焦三種光源,支持亮度可調,包含x/y/z單獨清零及一健清零,電動(dòng)控制轉換器,配置乙軸運動(dòng)急停按鍵

相機

德國進(jìn)口的映美精相機,靶面尺寸: 1/1.8 inch ;分辨率: 1600x 1200(1.9MP), 幀速率: 20fps, 300萬(wàn)像素

攝影攝像接口

0.5X/0.65X CTV,采用C型接口,可調焦

PC

聯(lián)想電腦揚天M4000g(15-10400 8G IT)21.5英寸

軟件

舜宇MS精密測量軟件,實(shí)時(shí)顯示數顯表三坐標數據,配置圖像測量模塊, 支持自動(dòng)尋邊,倍事自動(dòng)識別等功能, 定制化終端數據上傳功能

其他附件

起偏境插板,360旋轉式檢偏鏡插板;反射用干涉濾色片組;高精度測微尺;DIC組件;標定片

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