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工具測量顯微鏡
電動(dòng)測量顯微鏡
電動(dòng)測量顯微鏡

產(chǎn)品型號:HTM系列
發(fā)布時(shí)間:2023-9-1 17:00:43
訪(fǎng)問(wèn)次數:2838 次

工具測量顯微鏡-電動(dòng)測量顯微鏡介紹

◆電動(dòng)Z軸移動(dòng)機構通過(guò)使用專(zhuān)用的控制器簡(jiǎn)化了的垂直移動(dòng)操作。

◆新款測量顯微鏡可配備一個(gè)新型輔助對焦機構,以提供更清晰和更的對焦。相比以前型號,高精度Z軸測量更簡(jiǎn)便。

◆得益于各種電動(dòng)控制以及人體工程學(xué)設計,極大地改善了易操作性。即便使用大尺寸的載物臺,操作起來(lái)也十分得心應手。

◆X、Y和Z軸的較小單位可以在 0.1 μm和0.5μm之間切換,此外,還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。

◆使用數碼相機和 M- Inspect 測量軟件進(jìn)行數字圖像拍攝可通過(guò)的自動(dòng)邊緣檢測進(jìn)行速測量。

●操作便捷

集中化顯微鏡操作,調焦手輪、速度控制、遙控開(kāi)關(guān)均可實(shí)現單手盲操作,實(shí)現大試樣高精度快速測量。

●電動(dòng)Z軸調焦

使用電動(dòng)調焦裝置可以大幅提高操作性,并減少了進(jìn)行聚焦和高度測量時(shí)的操作疲勞。

●穩固的機械機構

充分考慮工業(yè)現場(chǎng)環(huán)境的結構設計,內置減震機構,保證了高水平的重復性精度。

●高度靈活

模塊化的硬件、功能強大的軟件方案,自由搭配成像光路、載物臺、FA聚焦導航、旋轉工作臺、晶圓轉盤(pán)等。

●高密度拼接

使用高密度拼接功能、多幅圖像可以拼接擴展為一幅大視野全景圖像

電動(dòng)測量顯微鏡HTM系列配置參數

型號

HTM150D

HTM200D

HTM300D

HTM400D

圖像

正像/反像

觀(guān)察方法

明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、微分干涉觀(guān)察

目鏡

屈光度可調10X(視場(chǎng)數:22mm)

物鏡

平場(chǎng)消色差/平場(chǎng)半復消色差系列鏡頭

調焦系統

最大被測物高度

200mm

電動(dòng)調焦參數

微調:50μm、100μm、400μm/圈可選

點(diǎn)動(dòng):100μm /

粗調:10mm/秒

調焦精度

最小步距

0.1μm

測量重復性

±1μm

照明裝置

透射照明

遠心照明、無(wú)級亮度可調、5W LED光源

反射照明

科勒照明、可調孔徑光闌、無(wú)級亮度可調、5W LED光源

輔助照明

FA輔助聚焦、LED環(huán)型光源、光纖冷光源

載物臺

測量范圍

200*150mm

300*200mm

300*300mm

400*300mm

金屬臺尺寸

400*280mm

500*350mm

500*450mm

600*450mm

玻璃尺寸

245*192mm

350*250mm

350*350mm

450*350mm

快速釋放裝置

標準配置

遙控開(kāi)關(guān)

RESET(復位)與SEND(發(fā)送)按鈕位于X手輪附近

數字計數器

最小讀數

可在0.5/0.1μm選擇

功能

調零、分中、方向轉換、公英制轉換、RS232輸出

測量精度

(3+0.02L)μmL為測量長(cháng)度

功耗

230W、85~240VAC 50/60HZ

主機

外型尺寸

659*660*744mm

659*710*744mm

659*660*744mm

659*710*744mm

重量

80KG

110KG

160KG

175KG


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